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  上海新爱示邦际商业有限公司 MFC工夫调换会 1。质地流量节制器 (■MFC)的特征 2。MFC的构制和道理 3。气体及其CF值 4。MFC的行使条款(温度、压力) 5。液体质料的节制 6。产物操纵先容 。 上海新 爱示邦际▽ 商业有限公司 气体○ ★△ 的流量节★制=类 型 ○ 。流量□节制阀(针阀八孔平均孔板流量计、稳流阀等等) 。面积■式流量■计 (浮■子□…形式) -!

  体积 流量■节○制□cc/◁mi nm ★3/hr 。质地流量节制器 -!

  质○○地流量 ○节○△ 制g◁/ ○m in、j9九游会真人游戏第一品牌mol/min 。 上海新 爱示邦际商业有★○限公司 气体的特 征 。气体的体积 -?

  体积○ 依 照条款(温度j9九游▽□会首 页登录、压力)改观蜕化 。气体的质地 -八孔平衡孔板流量计孔板流量计的公式孔板流量计选型样本?mfc是什么流量计j9九游会首页登录

  温度、压力等成分不受影响 。 上=○ 海新△爱示邦际商业有限公司 ★ …气体的流量 节制 ▽半导体操纵经过的□化○学反响■ -。

  化学反响以m□ol单■ 元举办 例:2H2+O2=2H2O ○-。

  哀求以m=ol单元 举办流量▽节=制 ★ -?

  需求…高机能流量○节制器对应 。 上海新爱示邦际商业有限公司 质地流量节制器的特征 a)安闲▽的流量供应不受温度、压力改观影响 b)低压条款下也可行使 c)可告终对侵蚀性气体、浓缩气体的节制 d■)流量的再现性孔板流量计选型样本、稳定 性优 异 e)○电○气信号节制可告 终主动、长途节制= MFC=MassFlowControl○l…er 。 上海新爱示 邦际商△业■有限公司 MFC▽的组成 电源暗示○…器设定器 。 上海新爱示邦际商业有限公司 传△感器感知道理 惠斯通电桥 惠斯通电桥(○又称单臂电 桥)是一种可能无误丈量 电阻的仪器。图3-13所▽ 示是一个通用■的惠斯○通电 桥。电阻R 1            八孔平◁均孔板流量计<★○/strong>,R2,j9九游会真人游戏第一品牌 R4叫做电★桥的四=个臂孔板流量计的公式<…/st■ron g>,G 为检流计,用以查抄它所 正在的岔途有无电流孔板流量计的○○公式 。当G 无电通畅落伍,称电桥达 到平均。平均时,四个 臂 的阻值餍▽ 足一个单纯的合■ 系,诈欺这一◁○相干 就可测 量电阻。 。 上海新爱示邦 际■商业有限公司 传感器管的 温度△漫 衍 气体◁… 。 上海 新爱示邦际商业有限公司 温度差和流量的相干 假思直线 温度改观 上卑鄙的温度差 =电桥测出电阻值改观 流量 qm=k*ΔT qm■-质地八孔平均孔板流量计 ,k-常数ΔT-温 差 。 上海新○◁爱示邦际…商业有限公司 B▽yPa■ss 寓意 正在必然的■分流比下负气体○ 正在△传感器和旁途间分流 传感器管◁道 气体 。 上海新爱示邦际★商业有限公○司 盘片式ByPass 。 上海新爱示邦际商业有限公司 特征:高速应答 晋升阀隔绝长适 用 大流量孔板流量=计的公式◁,精巧 控 制 FC-R7700孔板流量计选型样本、7800 P □RA7800、780HT系 ◁列 电磁阀 线圈 晋升阀 弹簧垫片 阀头 气体流向 内径 。 上海新…爱示邦际 商△业有○ 限公司 特征:高速应答 合用于高供应压 小流量,j9九游会真人游戏第一品牌精巧 节制 FC -DR980系列 压电阀 治疗螺母 压电原件 膜片 根蒂原◁件 弹簧 气体流向 。 上海 新爱示邦际商业有限公司 气体以及CF值 ①转换系数 是○指? ②CF○换算 ③气 体个性★ 。 上海新爱示=邦 际商业有限公司 气体转换系数 以N2为基准(1。000)流■量转换系数 依照差异气体的比热和密度筹划 气体分子 热换取水准暗示值 界说-。    

  MFC相似输出时的流量比 CF=校正系数× N2比热*N2密度 对象气体比 △热*对象气体密度 。 上海△新爱示邦际 商业有限公司 气体转换系数 。 上海新爱示邦际商业有限公司 CF的换 算 • 诈欺CF系数可能筹划出他气体的流量○换 算 举 ○例: N21SLM的MFC动作Ar气 行使 时100%▽量程的设定流量 是? CF换算流 量= ★满◁量■■程流 …量× =1SLM× ■=1。41S LM ▽本质气体的CF○ 纪录气体的CF 1。410 1。000 。 上海新爱示邦际商业有限公司 CF的换= 算的 小心 点 诈欺CF系数筹划得=出的流量j9九游=会首页登○▽录,是不行保障◁的 分子量不同对比大的□○气体间换算。