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上海新爱示邦际商业有限公司 MFC工夫调换会 1。质地流量节制器 (■MFC)的特征 2。MFC的构制和道理 3。气体及其CF值 4。MFC的行使条款(温度、压力) 5。液体质料的节制 6。产物操纵先容 。 上海新 爱示邦际▽ 商业有限公司 气体○ ★△ 的流量节★制=类 型 ○ 。流量□节制阀(针阀八孔平均孔板流量计、稳流阀等等) 。面积■式流量■计 (浮■子□…形式) -!
体积 流量■节○制□cc/◁mi nm ★3/hr 。质地流量节制器 -! 质○○地流量 ○节○△ 制g◁/ ○m in、j9九游会真人游戏第一品牌mol/min 。 上海新 爱示邦际商业有★○限公司 气体的特 征 。气体的体积 -? 体积○ 依 照条款(温度j9九游▽□会首 页登录、压力)改观蜕化 。气体的质地 -八孔平衡孔板流量计孔板流量计的公式孔板流量计选型样本?mfc是什么流量计j9九游会首页登录! 温度、压力等成分不受影响 。 上=○ 海新△爱示邦际商业有限公司 ★ …气体的流量 节制 ▽半导体操纵经过的□化○学反响■ -。 化学反响以m□ol单■ 元举办 例:2H2+O2=2H2O ○-。 哀求以m=ol单元 举办流量▽节=制 ★ -? 需求…高机能流量○节制器对应 。 上海新爱示邦际商业有限公司 质地流量节制器的特征 a)安闲▽的流量供应不受温度、压力改观影响 b)低压条款下也可行使 c)可告终对侵蚀性气体、浓缩气体的节制 d■)流量的再现性孔板流量计选型样本、稳定 性优 异 e)○电○气信号节制可告 终主动、长途节制= MFC=MassFlowControl○l…er 。 上海新爱示 邦际商△业■有限公司 MFC▽的组成 电源暗示○…器设定器 。 上海新爱示邦际商业有限公司 传△感器感知道理 惠斯通电桥 惠斯通电桥(○又称单臂电 桥)是一种可能无误丈量 电阻的仪器。图3-13所▽ 示是一个通用■的惠斯○通电 桥。电阻R 1 MFC相似输出时的流量比 CF=校正系数× N2比热*N2密度 对象气体比 △热*对象气体密度 。 上海△新爱示邦际 商业有限公司 气体转换系数 。 上海新爱示邦际商业有限公司 CF的换 算 • 诈欺CF系数可能筹划出他气体的流量○换 算 举 ○例: N21SLM的MFC动作Ar气 行使 时100%▽量程的设定流量 是? CF换算流 量= ★满◁量■■程流 …量× =1SLM× ■=1。41S LM ▽本质气体的CF○ 纪录气体的CF 1。410 1。000 。 上海新爱示邦际商业有限公司 CF的换= 算的 小心 点 诈欺CF系数筹划得=出的流量j9九游=会首页登○▽录,是不行保障◁的 分子量不同对比大的□○气体间换算。
八孔平◁均孔板流量计<★○/strong>,R2,j9九游会真人游戏第一品牌 R4叫做电★桥的四=个臂